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龙图腾网获悉北京氢沄新能源科技有限公司申请的专利用于硅片运输的循环装置及生产系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527152U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422336191.0，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型用于硅片运输的循环装置及生产系统是由王刘洋;丁力;任烨飞设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于硅片运输的循环装置及生产系统在说明书摘要公布了：本公开提供一种用于硅片运输的循环装置及生产系统，涉及半导体技术领域，其中用于硅片运输的循环装置包括沿竖直设置的入料输送装置和出料输送装置，用于水平传输硅片放置架。升降装置由转运架和升降模组组成，转运架可竖直移动对接入料输送装置和出料输送装置，并具有容纳硅片放置架的空间。转运架上设置有第一固定结构和第二固定结构，第一固定结构用于垂直固定硅片放置架的顶部，第二固定结构用于水平固定硅片放置架的底部，且第二固定结构的笃定方向与硅片的取片方向相反。本公开技术方案可以实现硅片放置架在竖直方向和水平方向两个方向对硅片放置架进行固定，确保了硅片放置架在运输过程中以及在取片过程中的稳定性，避免硅片的损坏。

本实用新型用于硅片运输的循环装置及生产系统在权利要求书中公布了：1.一种用于硅片运输的循环装置，其特征在于，包括： 入料输送装置1和出料输送装置2，所述入料输送装置1与所述出料输送装置2沿竖直方向设置，分别用于沿水平方向传输硅片放置架7；以及， 升降装置3，所述升降装置3包括转运架301和沿竖直方向设置的升降模组302，所述转运架301设置于所述升降模组302上，所述转运架301能够在所述升降模组302上沿竖直方向往复运动以对接所述入料输送装置1和所述出料输送装置2，所述转运架301具有容纳空间用于接收并传送所述硅片放置架7，所述硅片放置架7能够在所述转运架301上由取片装置清空硅片； 其中，所述转运架301上设有第一固定结构4和第二固定结构5，所述第一固定结构4沿所述竖直方向位于所述第二固定结构5的上方，所述第一固定结构4的第一固定端402能够沿所述竖直方向向所述容纳空间伸入以抵接所述硅片放置架7的顶部，所述第二固定结构5的第二固定端502能够沿第一方向向所述容纳空间伸入以抵接所述硅片放置架7的底部，所述第一方向与所述水平方向平行且与所述取片装置的取片方向相反。

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