超科半导体科技(南通)有限公司张彪获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉超科半导体科技(南通)有限公司申请的专利一种半导体激光退火机台碳化硅晶圆基座获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527163U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423088495.6，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种半导体激光退火机台碳化硅晶圆基座是由张彪设计研发完成，并于2024-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体激光退火机台碳化硅晶圆基座在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体激光退火机台碳化硅晶圆基座，包括基座主体，所述基座主体上开设多个环形真空槽，所述环形真空槽以基座主体的中心为圆心，同心圆设置，所述基座主体上还开设多个直线真空槽，且直线真空槽呈交叉设置，且两者相交处为基座主体的中心。本实用新型通过设置多个环形真空槽和直线真空槽，将2％点接触改为90％以上的面接触，增加真空和对晶圆的吸附力，改善晶圆位移问题，同时增加基座对晶圆的散热能力，改善热累积导致的破片问题。
本实用新型一种半导体激光退火机台碳化硅晶圆基座在权利要求书中公布了：1.一种半导体激光退火机台碳化硅晶圆基座，其特征在于：包括基座主体，所述基座主体上开设多个环形真空槽，所述环形真空槽以基座主体的中心为圆心，同心圆设置，所述基座主体上还开设多个直线真空槽，且直线真空槽呈交叉设置，且两者相交处为基座主体的中心。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人超科半导体科技(南通)有限公司，其通讯地址为：226000 江苏省南通市高新技术产业开发区新世纪大道江海智汇园A2楼327室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励