日月新半导体(昆山)有限公司江莹珏获国家专利权
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龙图腾网获悉日月新半导体(昆山)有限公司申请的专利一种半导体基板的固定装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223527165U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422728248.1,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种半导体基板的固定装置是由江莹珏设计研发完成,并于2024-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体基板的固定装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体基板技术领域,公开了一种半导体基板的固定装置,包括固定组件用于对半导体基板进行固定、第一调节组件用于对半导体基板进行固定后的高度调节和第二调节组件用于对半导体基板进行固定后的旋转角度调节,所述固定组件包括有固定壳,且固定壳固接有驱动电机一,并且驱动电机一的输出端固接有转动轴一,同时转动轴一固接有双向螺纹杆,且双向螺纹杆螺纹连接有夹板,并且夹板的外侧设有夹槽,所述第二调节组件设于固定组件的下方,且第二调节组件包括有固定板,并且固定板固接有驱动电机三,通过两组夹槽能够同时对半导体基板进行夹紧,从而提供均匀的固定力,有效防止基板在加工过程中的移动和晃动。
本实用新型一种半导体基板的固定装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体基板的固定装置,其特征在于:包括固定组件1用于对半导体基板进行固定、第一调节组件2用于对半导体基板进行固定后的高度调节和第二调节组件3用于对半导体基板进行固定后的旋转角度调节,所述固定组件1包括有固定壳11,且固定壳11固接有驱动电机一12,并且驱动电机一12的输出端固接有转动轴一13,同时转动轴一13固接有双向螺纹杆14,且双向螺纹杆14螺纹连接有夹板15,并且夹板15的外侧设有夹槽16; 所述第二调节组件3设于固定组件1的下方,且第二调节组件3包括有固定板31,并且固定板31固接有驱动电机三32,同时驱动电机三32的输出端固接有蜗杆33,且蜗杆33连接有蜗轮34,并且蜗轮34固接有滑筒25,所述第一调节组件2设于第二调节组件3的下方,且第一调节组件2包括有固定底板21,并且固定底板21固接有驱动电机二22,同时驱动电机二22的输出端固接有单向螺纹杆23,且单向螺纹杆23螺纹连接有螺纹套筒24。
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