拓荆科技(上海)有限公司杨辰烨获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种降低部件氧化的加热盘装置及其薄膜沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119640237B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411814935.3，技术领域涉及：C23C16/46；该发明授权一种降低部件氧化的加热盘装置及其薄膜沉积设备是由杨辰烨设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种降低部件氧化的加热盘装置及其薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种降低部件氧化的加热盘装置及其薄膜沉积设备，降低部件氧化的加热盘装置包括：加热盘、加热棒和射频棒以及密封盖板，加热盘包括：发热盘以及连接于发热盘的底部中心的支撑柄，所述支撑柄内设有安装腔，所述加热棒和所述射频棒嵌设于所述安装腔内，且所述密封盖板连接于所述安装腔的开口，以致安装腔内形成密封的真空腔。本发明的降低部件氧化的加热盘装置及其薄膜沉积设备，其通过将嵌设加热棒和射频棒的支撑柄的安装腔设计为可密封结构，在工作时将安装腔抽真空，从而替代现有通入惰性气体降低加热棒和射频棒被氧化的设计，其安全性更高，降低部件被氧化的效果更好，同时也不会造成发热盘的局部冷点，其加热效果更好。
本发明授权一种降低部件氧化的加热盘装置及其薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种降低部件氧化的加热盘装置，其特征在于，包括：加热盘、加热棒和射频棒以及密封盖板，所述加热盘包括：发热盘以及连接于所述发热盘的底部中心的支撑柄，所述支撑柄内设有安装腔，所述加热棒和所述射频棒嵌设于所述安装腔内，且所述密封盖板密封盖合于所述安装腔，以致安装腔内形成密封的真空腔。
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