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龙图腾网获悉浙江森永光电设备有限公司申请的专利一种基于CMP抛光技术的碳化硅专用双面抛光机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120395675B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510767058.7，技术领域涉及：B24B37/08；该发明授权一种基于CMP抛光技术的碳化硅专用双面抛光机是由项伟琪;朱枫;鞠磊;余嘉民;何云龙;李成昊设计研发完成，并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于CMP抛光技术的碳化硅专用双面抛光机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于CMP抛光技术的碳化硅专用双面抛光机，属于碳化硅用抛光技术领域，设置有用于支撑的抛光机基座，且抛光机基座侧面安装有控制箱；包括：抛光液筒，安装于所述抛光机基座上侧，且抛光机基座上侧安装有抛光室，并且抛光室的上侧安装有防尘室，同时抛光液筒设置有冷却循环机构。该基于CMP抛光技术的碳化硅专用双面抛光机，设置有旋转板组装的吸附座进行等角度设置，可实现自动上下料，有效地提升碳化硅晶片抛光效率，满足产线自动化的要求，并搭配成熟的机械手机构，可以完成产线自动化加工，并保证抛光件不产生台阶，且抛光时配合径向来回移动，提高产品的表面精度。

本发明授权一种基于CMP抛光技术的碳化硅专用双面抛光机在权利要求书中公布了：1.一种基于CMP抛光技术的碳化硅专用双面抛光机，设置有用于支撑的抛光机基座，且抛光机基座侧面安装有控制箱； 其特征在于，包括： 抛光液筒，安装于所述抛光机基座上侧，且抛光机基座上侧安装有抛光室，并且抛光室的上侧安装有防尘室，同时抛光液筒设置有冷却循环机构； 支撑板，安装于所述抛光室的内表面，且支撑板上侧转动连接有齿轮座，并且齿轮座的外表面啮合连接有驱动齿轮，同时齿轮座上侧安装有旋转板，并且旋转板的内表面开设有通孔，同时旋转板设置有限位滑动机构； 所述限位滑动机构包括旋转板上表面安装的滑轨，且滑轨的上表面滑动连接有移动座，并且移动座的上表面安装有安装座，同时安装座的外表面侧面安装有伺服电机一，且伺服电机一的表面转动连接有主动齿轮，并且主动齿轮的外表面啮合连接有从动齿轮，并将从动齿轮定位旋转在安装座上方；所述旋转板通过滑轨与移动座构成限位移动结构； 所述从动齿轮的内表面安装有吸附管，且吸附管的上表面旋转连接有转接头，并且吸附管的下表面安装有吸附座，同时吸附座的内表面开设有真空吸附孔，且吸附座的外表面侧面设置有导流管，并将导流管定位安装在旋转板的下表面； 所述齿轮座的上表面安装有支撑座，且支撑座的上表面安装有伺服电机二，并且伺服电机二的下表面通过螺纹杆螺纹连接有旋转件，并将旋转件限位滑动在支撑座的内表面，同时旋转件的外表面转动连接有连杆，且连杆的下侧转动连接有固定件，并将固定件安装在移动座的外表面； 所述齿轮座与支撑座的下表面嵌入式安装设置，且支撑座通过伺服电机二与旋转件构成限位升降结构，并且旋转件通过连杆和固定件与移动座构成推动结构。

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