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龙图腾网获悉合肥市纳诺半导体有限公司申请的专利一种半导体无图形晶圆暗场缺陷检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120446150B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510934756.1，技术领域涉及：G01N21/892；该发明授权一种半导体无图形晶圆暗场缺陷检测系统及方法是由韦巍;朱俊;梁昊设计研发完成，并于2025-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体无图形晶圆暗场缺陷检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体无图形晶圆暗场缺陷检测系统及方法，涉及半导体技术领域。本发明包括：照明光源组件，用于提供激光束；扩束整形组件，扩束整形组件用于对照明光源组件提供的激光束进行扩束与整形，得到方形条状光斑照射到晶圆表面；螺旋运动控制组件，设置在晶圆下方，用于控制晶圆移动，实现对晶圆的螺旋线扫描。本发明对基于螺旋扫描线的晶圆检测系统内圈扫描流程进行了优化，对条形扫描光斑的光强与尺寸进行实时调整，对延时积分相机的行频进行同步实时调整，从而实现整个扫描流程的连续性，且在成像过程中晶圆上单位像素单位时间内所获得的照明激光能量保持一致，方便后续进行图像处理与识别。

本发明授权一种半导体无图形晶圆暗场缺陷检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体无图形晶圆暗场缺陷检测系统，应用于晶圆缺陷检测，其特征在于，包括： 照明光源组件，照明光源组件包括光源本体、沿着光路传播路径设置的衰减器和可控光阑，其中衰减器用于在晶圆扫描过程中控制光强衰减，以实现成像过程中晶圆上单位像素单位时间内所获得的照明激光能量保持一致，可控光阑用于根据扫描进程控制光斑大小； 扩束整形组件，扩束整形组件用于对照明光源组件提供的激光束进行扩束与整形，得到方形条状光斑照射到晶圆表面； 螺旋运动控制组件，设置在晶圆下方，用于控制晶圆移动，实现对晶圆的螺旋扫描； 其中螺旋运动控制组件包括旋转运动台、直线运动台与控制器，旋转运动台、直线运动台与控制器电性连接，旋转运动台、直线运动台配合移动能够实现晶圆的螺旋扫描，且螺旋扫描整体沿晶圆外侧向内分为两段，第一段以匀线速度进行扫描，角速度均匀增加，第二段以匀角速度进行扫描，线速度均匀减小，光强衰减与光斑大小变化与扫描过程中线速度、角速度相匹配，延时积分相机的行频进行同步实时调整，从而实现整个扫描流程的连续性，且内圈的扫描与外圈扫描图像保持一致； 反射光收集组件，反射光收集组件用于对晶圆表面反射的光路进行收集，反射光收集组件连接有中控机，用于对反射光信息进行分析处理； 散射光线收集组件，用于对晶圆发出的散射光线进行收集，并传输至图像处理器处，用于对散射光线进行处理； 反射光收集组件设置为收集器，收集器包括衰减OD片与能量探测器PD，用于对反射光能量进行收集与分析，确保在成像过程中晶圆上单位像素单位时间内所获得的照明激光能量保持一致； 在螺旋扫描过程中，对方形条状光斑的光强与尺寸进行实时调整，对延时积分相机的行频进行同步实时调整，从而实现整个扫描流程的连续性，且内圈的扫描与外圈扫描图像保持一致。

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