芯恩(青岛)集成电路有限公司杨昱获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利真空系统及半导体生产装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223536497U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520087042.7，技术领域涉及：F04B37/14；该实用新型真空系统及半导体生产装置是由杨昱设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空系统及半导体生产装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种真空系统及半导体生产装置，真空系统包括第一真空机构和第二真空机构，在第一真空机构和第二真空机构同时开启时对目标真空腔同时抽取真空，或者，在第一真空机构和第二真空机构的中的其中任意一个宕机时，另一个能持续对目标真空腔持续抽取真空，从而保证目标真空腔内的真空度。
本实用新型真空系统及半导体生产装置在权利要求书中公布了：1.一种真空系统，用于目标真空腔抽取真空，其特征在于，包括： 管体，与所述目标真空腔连通； 第一真空机构，通过第一气体流道与所述管体在第一连通处相连通； 第二真空机构，通过第二气体流道与所述管体在第二连通处相连通，所述第一连通处距离所述目标真空腔的距离小于等于所述第二连通处距离所述目标真空腔的距离； 集尘机构，连通于所述管体并设置于所述管体的底端正下方； 所述第二连通处位于所述集尘机构的上方，且所述管体至少在所述第一连通处到所述集尘机构之间的部分连通路径为沿重力方向设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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