ASM IP私人控股有限公司郑元基获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112309899B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010587288.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理设备是由郑元基;李主日;张夏硕设计研发完成，并于2020-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备在说明书摘要公布了：一种具有改进的排气结构的基板处理设备包括：在处理单元和基板支撑单元之间形成的反应空间；围绕反应空间的排气单元；在内部具有通道的排气端口；在内部具有排气管线的分隔壁，其中排气端口的通道连接排气单元和排气管线。
本发明授权基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，包括： 分隔壁，在其中具有排气管线； 基板支撑单元，其被容纳在分隔壁中； 处理单元，其设置在基板支撑单元上方； 排气单元，其连接到基板支撑单元与处理单元之间的反应空间；以及 排气端口，其连接到排气单元的至少一部分， 其中，所述排气端口配置为连接排气单元和分隔壁内部的排气管线； 其中，所述排气管线沿着所述分隔壁的内部竖直地延伸， 其中，所述排气端口包括具有L形的通道，在横向方向上从所述排气单元引入的气体通过所述通道在向下方向上排出，并且 其中，气体通过分隔壁的内部沿向下方向排出， 其中，所述基板处理设备还包括支撑部，其配置为支撑所述处理单元和排气单元， 其中，所述支撑部设置在排气端口和分隔壁之间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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