长鑫存储技术有限公司张秀璇获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利光罩检测标识位置设置方法及带有具有检测标识的光罩获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116243555B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310274709.X，技术领域涉及：G03F1/44；该发明授权光罩检测标识位置设置方法及带有具有检测标识的光罩是由张秀璇设计研发完成，并于2023-03-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩检测标识位置设置方法及带有具有检测标识的光罩在说明书摘要公布了：本公开是关于一种光罩检测标识位置设置方法及带有具有检测标识的光罩，所述光罩检测标识位置设置方法包括：提供多个光罩；于所述光罩上划分图案区和非图案区；选择一光罩的非图案区与其他另一光罩的非图案区重叠的区域为标记区，于所述标记区设置检测标识。本公开通过将芯片区按照光罩层别划出用于透光的图案区，在图案区外的其他区域设置检测标识，无需增加芯片区面积即可使检测标识靠近图案区，不损失裸片数量；同时选择将检测标识设置于非图案区重叠的区域，能够达到对不同光罩间相对位置进行检测的目的，进一步提高检测有效性。
本发明授权光罩检测标识位置设置方法及带有具有检测标识的光罩在权利要求书中公布了：1.一种光罩检测标识位置设置方法，其特征在于，所述光罩检测标识位置设置方法包括： 提供多个光罩； 于所述光罩上划分芯片区和切割道，于所述光罩的芯片区划分图案区和非图案区； 选择一所述光罩的非图案区与其他另一所述光罩的非图案区重叠的区域为标记区，于所述标记区设置检测标识； 其中，所述检测标识的图形尺寸小于对应的晶圆曝光机的最小分辨率和或所述检测标识的图形尺寸大于所述光罩的最小制程尺寸。
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