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龙图腾网获悉江苏亨芯石英科技有限公司申请的专利一种准分子激光器用合成石英玻璃制备装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223547910U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422753238.3，技术领域涉及：C03B20/00；该实用新型一种准分子激光器用合成石英玻璃制备装置是由刘利;肖华;吴龙波;钟媛;于渊洁设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种准分子激光器用合成石英玻璃制备装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于石英合成领域，具体涉及一种准分子激光器用合成石英玻璃制备装置。包括疏松体沉积系统和疏松体烧结系统；疏松体沉积系统由外向内依次设有石英外腔体，顶部开口的石英内腔体和旋转石英引杆；疏松体烧结系统由外向内依次设有真空烧结炉外壳、中频加热装置、石英管和疏松体；合成的光学元件，不含氯、氧缺陷位点和SiH基团，有极高的紫外透过率和低吸收率，用于传输ArF准分子激光的ArF曝光设备的光学系统，折射率均匀性Δn为1×10‑6以下，应力双折射量为1nmcm以下，对于波长193.4nm的紫外线的内部透射率为99.7％以上，OH基浓度为1ppm以下，金属杂质含量10ppb以下。

本实用新型一种准分子激光器用合成石英玻璃制备装置在权利要求书中公布了：1.一种准分子激光器用合成石英玻璃制备装置，其特征在于，包括疏松体沉积系统和疏松体烧结系统； 所述疏松体沉积系统由外向内依次设有石英外腔体106，顶部开口的石英内腔体105和旋转石英引杆108； 所述旋转石英引杆108为竖直设置，可沿竖直方向上下移动，顶部设有托板103；所述石英外腔体106的顶部设有若干喷灯101，所述喷灯101沿竖直方向穿过石英外腔体106的顶部向下延伸，喷灯101底部和托板103的距离为35-100mm；所述石英外腔体106的底部设有抽真空装置；所述石英内腔体105的底部设有若干进气口107，石英外腔体106的两侧设有若干排风口104； 所述疏松体烧结系统由外向内依次设有真空烧结炉外壳201、中频加热装置、石英管203和疏松体207； 所述真空烧结炉外壳201包括水冷系统、冷却水进水口202和出水口210；所述真空烧结炉外壳201的侧面还设有抽真空排气口204；所述抽真空排气口204的一端连接有真空泵；所述中频加热装置包括依次设于石英管203外部的金属钨管205和中频线圈206。

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