晟盈半导体设备(江苏)有限公司徐传勇获国家专利权
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龙图腾网获悉晟盈半导体设备(江苏)有限公司申请的专利一种晶圆自动装载卸载装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223548142U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423107113.X,技术领域涉及:C25D17/06;该实用新型一种晶圆自动装载卸载装置是由徐传勇;孙文杰设计研发完成,并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆自动装载卸载装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆自动装载卸载装置,其包括第一载盘、设置在第一载盘上方的第二载盘、驱动第二载盘朝向第一载盘或者挂具的翻转驱动单元、组装驱动单元、装配驱动单元。本实用新型一方面通过驱动第一载盘实现晶圆中心的调整,并在升降部件的驱动下实现晶圆与密封环在第二载盘上精准配合,从而大大提升晶圆和密封环的装载精度;另一方面实现晶圆与密封环自动对位和装载卸载,操作简单、方便,装载效率高。
本实用新型一种晶圆自动装载卸载装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆自动装载卸载装置,其特征在于,其包括第一载盘、设置在所述第一载盘上方的第二载盘、驱动所述第二载盘朝向所述第一载盘或者挂具的翻转驱动单元、组装驱动单元、装配驱动单元,其中晶圆平放在所述第一载盘上,密封环放置在所述第二载盘上;所述组装驱动单元包括对中部件和升降部件,所述第二载盘朝向第一载盘时,所述对中部件用于驱动所述第一载盘并带动所述晶圆中心与密封环中心上下对齐,所述升降部件用于驱动所述晶圆在所述第一载盘和第二载盘之间移载;所述第二载盘朝向挂具时,所述装配驱动单元驱动晶圆和密封环自所述挂具上装载或卸载。
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