日东智能装备科技(深圳)有限公司林晓新获国家专利权
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龙图腾网获悉日东智能装备科技(深圳)有限公司申请的专利一种半导体烤箱的腔体结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223550769U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422950829.X，技术领域涉及：F26B9/06；该实用新型一种半导体烤箱的腔体结构是由林晓新;李合祥;乔森;瞿咏设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体烤箱的腔体结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体烤箱的腔体结构，包括腔体和供半导体放置的托盘，所述腔体内设有放置腔室，所述托盘位于所述放置腔室内，所述腔体的一侧设有开口，所述开口与所述放置腔室连通，所述腔体内还设有两个循环腔室，两个循环腔室和放置腔室之间分别通过两个侧板隔开，两个侧板呈左右相对设置，所述托盘的两端分别与两个侧板连接，所述循环腔室通过第一回风口、第二回风口和出风口与所述放置腔室连通，所述出风口位于所述第一回风口和第二回风口之间，所述第一回风口、第二回风口和出风口均设置在所述循环腔室和放置腔室之间的侧板上，所述腔体的两端分别设有两个风机，两个风机分别与两个循环腔室对应。本实用新型提高了烘干效率。
本实用新型一种半导体烤箱的腔体结构在权利要求书中公布了：1.一种半导体烤箱的腔体结构，包括腔体和供半导体放置的托盘，所述腔体内设有放置腔室，所述托盘位于所述放置腔室内，所述腔体的一侧设有开口，所述开口与所述放置腔室连通，其特征在于，所述腔体内还设有两个循环腔室，两个循环腔室和放置腔室之间分别通过两个侧板隔开，两个侧板呈左右相对设置，所述托盘的两端分别与两个侧板连接，所述循环腔室通过第一回风口、第二回风口和出风口与所述放置腔室连通，所述出风口位于所述第一回风口和第二回风口之间，所述第一回风口、第二回风口和出风口均设置在所述循环腔室和放置腔室之间的侧板上，所述腔体的两端分别设有两个风机，两个风机分别与两个循环腔室对应，所述风机部分伸入到对应的循环腔室内，所述循环腔室内设有加热组件，所述加热组件部分伸出所述腔体之外并固定在所述腔体的另一侧。
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