江苏亚电科技股份有限公司钱诚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏亚电科技股份有限公司申请的专利一种晶圆清洗用干燥流体喷管获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223550846U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423077504.1，技术领域涉及：F26B21/00；该实用新型一种晶圆清洗用干燥流体喷管是由钱诚;霍召军;王建设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗用干燥流体喷管在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆清洗用干燥流体喷管，属于晶圆生产设备技术领域。晶圆清洗用干燥流体喷管由内管和外管组成，干燥流体先进入内管，从内管上的第二喷口喷出，由于第二喷口与第一喷口的朝向相反，在内管和外管之间的空间内进行整流，再从外管上的第一喷口上喷出，使得干燥流体的喷出更加稳定。支撑环的设置使得整体管道长度较长时，能够保证内管和外管之间的空间的横截面不变。
本实用新型一种晶圆清洗用干燥流体喷管在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗用干燥流体喷管，其特征在于，包括： 外管1，所述外管1上开设有成排的第一喷口11； 内管2，所述内管2上开设有成排的第二喷口12，所述第一喷口11的方向与第二喷口12的方向相反； 支撑环3，设置在所述外管1和内管2之间，所述支撑环3的宽度小于两个相邻所述第二喷口12的距离，且所述支撑环3设置在两个相邻所述第二喷口12之间； 末端堵头4，用于封堵外管1和内管2的一端，包括第一内筒41和第一端头42，所述内管2的一端伸入所述第一内筒41内，所述外管1套设在所述第一内筒41的外壁上； 接头5，位于外管1和内管2的另一端，用于与其他供液管道连接，包括第二内筒51和第二端头52，所述内管2的另一端伸入所述第二内筒51内，所述外管1套设在所述第二内筒51的外壁上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏亚电科技股份有限公司，其通讯地址为：225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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