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龙图腾网获悉江苏西西里科技有限公司申请的专利一种用于半导体生产的水氟换热器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223550953U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423061492.3，技术领域涉及：F28D9/00；该实用新型一种用于半导体生产的水氟换热器是由刘青青设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体生产的水氟换热器在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于半导体生产的水氟换热器，涉及半导体加工换热技术领域，包括机体，机体上端设有水箱，水箱、冷却液抽取管以及冷却液导送管组成冷却液输送回路，冷却液导送管、换热管、冷却液导出管以及冷却液进入管组成冷却循环回路，常温水输入管、水腔以及常温水输出管组成常温水回路，边侧控制腔内壁固定安装有用于控制PID电动比例阀的PLC，触摸屏的COM口与PLC的通讯口相连。本实用新型利用常温水对氟化液进行一次热交换后再将氟化液流经生产设备进行高效降温，利用PLC执行一个正常运行所需的温度信号，并控制PID电动比例阀的打开角度，来控制常温水的进入流量，精确实现水与氟化液热交换，确保生产设备的运行温度保持在最佳状态。

本实用新型一种用于半导体生产的水氟换热器在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体生产的水氟换热器，其特征在于，包括： 机体1，所述机体1上端设有水箱21，所述水箱21内灌装有氟化液； 所述机体1内置有管路安装腔，所述管路安装腔内底壁安装有磁力泵27和板式换热器30，所述磁力泵27的进液口连接有冷却液抽取管29，所述冷却液抽取管29与水箱21底壁连接；所述板式换热器30内设有水腔，所述板式换热器30相对的两边侧壁分别连接有冷却液导送管28和冷却液导出管7，所述水腔内置有换热管46，所述换热管46两端分别与冷却液导送管28和冷却液导出管7连接，所述冷却液导送管28的另一端与磁力泵27的出液口连接；所述水箱21底壁还连接有冷却液进入管8，所述冷却液进入管8的端部用于连接生产设备的出液端口； 所述水箱21、冷却液抽取管29以及冷却液导送管28组成冷却液输送回路，所述冷却液导送管28、换热管46、冷却液导出管7以及冷却液进入管8组成冷却循环回路； 所述板式换热器30相对的两边侧壁还分别连接有常温水输入管9和常温水输出管10，所述常温水输入管9、水腔以及常温水输出管10组成常温水回路； 所述常温水输入管9上安装有PID电动比例阀39，所述机体1内还设有边侧控制腔，所述边侧控制腔内壁固定安装有用于控制PID电动比例阀39的PLC11，所述边侧控制腔开口还铰接有柜门6，所述柜门6上还内嵌有触摸屏5，所述触摸屏5的COM口与PLC11的通讯口相连。

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