申集半导体科技(徐州)有限公司娄静获国家专利权
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龙图腾网获悉申集半导体科技(徐州)有限公司申请的专利一种半导体生长设备的腔体测量工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223551061U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423280331.3，技术领域涉及：G01B5/28；该实用新型一种半导体生长设备的腔体测量工装是由娄静设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体生长设备的腔体测量工装在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体生长设备的腔体测量工装，包括基座，所述基座的抵接部设有第二柔性缓冲块；至少一个肘夹机构，肘夹机构的自由端部设有第一柔性缓冲块，通过操作所述肘夹机构使得所述肘夹机构的自由端部带动第一柔性缓冲块朝向或远离第二柔性缓冲块运动；调节支架，设置于所述基座；检测件，活动设置于所述第一调节件，以调整与所述第一调节件之间的相对位置，能够不受限于腔体材质而固定在腔体上，实现对腔体内基座的同心度、平整度等的检测，而且能够通过简单操作在腔体上根据测量需求灵活调整测量点位，并避免磕碰损伤腔体表面。
本实用新型一种半导体生长设备的腔体测量工装在权利要求书中公布了：1.一种半导体生长设备的腔体测量工装，其特征在于，包括： 基座100，包括抵接部120，所述抵接部设有第二柔性缓冲块121； 至少一个肘夹机构200，设置于所述基座100顶部，所述肘夹机构200的自由端部设有第一柔性缓冲块223，所述第一柔性缓冲块223与所述第二柔性缓冲块121之间相对并围成有夹持空间，以容纳所述半导体生长设备上的被夹持部位，并通过操作所述肘夹机构200使得所述肘夹机构200的自由端部带动所述第一柔性缓冲块223朝向或远离所述第二柔性缓冲块121运动； 调节支架300，设置于所述基座100，所述调节支架300包括相互转动连接的第一调节件310和第二调节件330，所述第二调节件330活动设于所述基座100以调整与所述基座100之间的相对位置； 检测件400，活动设置于所述第一调节件310，以调整与所述第一调节件310之间的相对位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人申集半导体科技(徐州)有限公司，其通讯地址为：221300 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河路以北华山路以西半导体材料和设备产业园C2号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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