富乐德科技发展(天津)有限公司郭志瑾获国家专利权
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龙图腾网获悉富乐德科技发展(天津)有限公司申请的专利一种ETCH制程聚焦环部件的辅助测量治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223551103U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423126781.7,技术领域涉及:G01B21/30;该实用新型一种ETCH制程聚焦环部件的辅助测量治具是由郭志瑾;赵新;张代龙设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种ETCH制程聚焦环部件的辅助测量治具在说明书摘要公布了:本实用新型是一种ETCH制程聚焦环部件的辅助测量治具,包括治具底座,治具底座上开设有容置孔,治具底座上设有治具平台,治具底座上在治具平台一侧安装有可拆卸治具座,可拆卸治具座面向治具平台的一侧为弧形面结构且弧形面结构上均布有若干定位槽。治具底座上对应可拆卸治具座的位置设有U形槽,U形槽的两侧内壁上设有滑道,可拆卸治具座的两侧壁下端设有滑块,滑块安装在对应的滑道内。可拆卸治具座的弧形面结构上端设有倒角。本实用新型中可拆卸治具座可拆卸,随意调整,以达到理想的测量位置;可以测量部件两个位置的粗糙度;使用治具固定部件,使测量数据更准确,同时节省人力。
本实用新型一种ETCH制程聚焦环部件的辅助测量治具在权利要求书中公布了:1.一种ETCH制程聚焦环部件的辅助测量治具,其特征在于,包括治具底座1,治具底座1上开设有容置孔2,治具底座1上设有治具平台3,治具底座1上在治具平台3一侧安装有可拆卸治具座4,可拆卸治具座4面向治具平台3的一侧为弧形面结构5且弧形面结构5上均布有若干定位槽6。
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