默克专利有限公司关藤高志获国家专利权
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龙图腾网获悉默克专利有限公司申请的专利制造固化膜的方法及其使用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113767334B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080031246.9，技术领域涉及：G03F7/09；该发明授权制造固化膜的方法及其使用是由关藤高志;中杉茂正;柳田浩志;平山拓设计研发完成，并于2020-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本制造固化膜的方法及其使用在说明书摘要公布了：本发明提供一种高膜密度、高膜硬度、高耐蚀刻性的固化膜的制造方法。一种制造固化膜的方法，包括1在基板的上方应用组合物i；2由组合物i形成含烃膜；以及3对含烃膜照射等离子体、电子束和或离子，形成固化膜。该固化膜的使用。
本发明授权制造固化膜的方法及其使用在权利要求书中公布了：1.一种在固化膜的上方制造抗蚀剂层的方法，其包含下述工序： 1在基板的上方应用组合物i； 2通过加热由组合物i形成含烃膜；以及 3对含烃膜照射等离子体、电子束和或离子，形成固化膜； 条件是，组合物i含有A含烃化合物、和B溶剂； A含烃化合物含有由下述式A1-1表示的结构单元A1-1； 其中，Ar21为C6-50的芳香族烃， R21、R22和R23分别独立地为C6-50的芳香族烃、氢、或与其他结构单元键合的单键， n21为0或1的整数； 其中，Ar21、R21、R22以及R23不包含稠合芳环， R12是I、Br或CN； p11为0～5的数、p12为0～1的数、q11为0、r11为0～5的数、s11为0～5的数； p11、q11和r11在一个结构单元中不同时为0； 其中，工序3中形成的固化膜的拉曼光谱分析中，激光波长514.5nm测量的G带与D带的强度比R＝IDIG为0.35～0.90。
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