日立金属株式会社阿列克谢·V·斯米尔诺夫获国家专利权
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龙图腾网获悉日立金属株式会社申请的专利多气体质量流量控制器和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114846428B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080087890.8，技术领域涉及：G05D7/06；该发明授权多气体质量流量控制器和方法是由阿列克谢·V·斯米尔诺夫设计研发完成，并于2020-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本多气体质量流量控制器和方法在说明书摘要公布了：公开了质量流量控制器和用于控制质量流量控制器的方法。一种方法包括：提供通过质量流量控制器的流量传感器的工艺气体，获得流量传感器用的经气体调整的灵敏度系数，以及获得流量传感器用的经气体调整的非线性数据。该方法还包括：使用经气体调整的灵敏度系数和经气体调整的非线性数据来产生流量传感器用的经气体调整的特性数据。使用来自流量传感器的流量传感器信号，从经气体调整的特性数据获得流量值，以及使用流量值连同设置点信号一起来控制质量流量控制器的阀。
本发明授权多气体质量流量控制器和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于控制质量流量控制器的方法，所述方法包括： 提供通过所述质量流量控制器的流量传感器的工艺气体； 用工艺气体用的转换因子调整灵敏度系数，以产生所述流量传感器用的经气体调整的灵敏度系数，所述灵敏度系数表示当所述流量传感器与特性气体一起被使用时所述流量传感器的理想信号； 获得所述流量传感器用的经气体调整的非线性数据； 使用所述经气体调整的灵敏度系数和所述经气体调整的非线性数据来产生所述流量传感器用的经气体调整的特性数据； 使用来自所述流量传感器的流量传感器信号，从所述经气体调整的特性数据获得流量值；以及 使用所述流量值连同设置点信号一起来控制所述质量流量控制器的阀。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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