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龙图腾网获悉美新半导体(天津)有限公司申请的专利MEMS传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117073654B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311125455.1，技术领域涉及：G01C19/5747；该发明授权MEMS传感器是由马瑞菲·哈桑;威廉姆斯·凯特;斯普拉克拉尔·范·格特扬设计研发完成，并于2023-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS传感器在说明书摘要公布了：本发明提供一种MEMS传感器，其包括：第一驱动电容和第二驱动电容；驱动器，其包括第一驱动单元、第二驱动单元和多路选择器。在所述谐振器启动期间中，所述多路选择器输出第一驱动单元输出的相位相反的第一对方波驱动信号，在所述谐振器正常运行时，所述多路选择器输出第二驱动单元输出的相位相反的第二对方波驱动信号，所述多路选择器输出的一对方波驱动信号被分别耦接至第一驱动电容和第二驱动电容的第二连接端。第一对方波驱动信号的高电平高于第二对方波驱动信号的高电平。这样可以降低MEMS传感器的启动时间。

本发明授权MEMS传感器在权利要求书中公布了：1.一种MEMS传感器，其特征在于，其包括： 谐振器，其包括第一驱动电容和第二驱动电容，其中第一驱动电容的第一连接端和第二驱动电容的第一连接端耦接至预定直流驱动电压； 驱动器，其包括第一驱动单元、第二驱动单元和多路选择器，第一驱动单元输出相位相反的第一对方波驱动信号，第二驱动单元输出相位相反的第二对方波驱动信号，第一对方波驱动信号的高电平高于第二对方波驱动信号的高电平，所述多路选择器根据选择控制信号选择第一对方波驱动信号或者第二对方波驱动信号作为输出，所述多路选择器输出的一对方波驱动信号被分别耦接至第一驱动电容的第二连接端和第二驱动电容的第二连接端，第一驱动电容和第二驱动电容包括第一驱动电容电极、第二驱动电容电极以及位于第一驱动电容电极和第二驱动电容电极之间的可移动质量块，所述可移动质量块作为第一驱动电容的第一连接端和第二驱动电容的第一连接端与预定直流驱动电压耦接，第一驱动电容电极作为第一驱动电容的第二连接端，第二驱动电容电极作为第二驱动电容的第二连接端，在所述多路选择器输出的一对方波驱动信号的驱动下，所述可移动质量块做简谐运动； 电源电路，其输出端提供所述预定直流驱动电压； 驱动检测电容组，其包括第一驱动检测电容和第二驱动检测电容，其中第一驱动检测电容和第二驱动检测电容，所述可移动质量块作为第一驱动检测电容和第二驱动检测电容的第一连接端与预定直流驱动电压耦接； 驱动电荷放大器，其第一输入端与第一驱动检测电容的第二连接端相连，其第二输入端与第二驱动检测电容的第二连接端相连； 数字处理电路，其包括自动增益控制模块； 驱动模数转换器，其第一输入端与所述驱动电荷放大器的第一输出端相连，其第二输入端与所述驱动电荷放大器的第二输出端相连，其输出端与所述数字处理电路的自动增益控制模块相连； 比较器，其第一输入端与所述驱动电荷放大器的第一输出端相连，其第二输入端与所述驱动电荷放大器的第二输出端相连； 锁相环，其参考输入端与所述比较器的输出端相连，所述比较器给所述锁相环提供参考时钟，所述锁相环的输出端与所述数字处理电路相连并给所述数字处理电路提供锁相环时钟； 自动增益控制数模转换器； 所述数字处理电路基于所述锁相环时钟产生与所述参考时钟同频同相的反馈时钟，并将反馈时钟提供给所述锁相环的反馈输入端，所述数字处理电路将所述反馈时钟相移-90度之后作为驱动时钟信号通过驱动时钟端口提供给所述驱动器， 所述驱动模数转换器将所述驱动电荷放大器输出的电压信号转换为数字电压信号，所述自动增益控制模块对所述数字电压信号进行低通滤波，之后通过PID控制器给出控制驱动振幅的数字增益控制信号，该数字增益控制信号被自动增益控制数模转换器转换成模拟增益控制信号，并提供给所述驱动器； 在正常工作时，所述驱动器根据所述驱动时钟信号和所述模拟增益控制信号产生第二对方波驱动信号； 其中所述选择控制信号在所述谐振器启动期间中被配置为第一逻辑电平，使得所述多路选择器输出第一对方波驱动信号，所述选择控制信号在所述谐振器正常运行时被配置为第二逻辑电平，使得所述多路选择器输出第二对方波驱动信号。

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