中国电子科技集团公司第四十八研究所王成宇获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种离子束刻蚀机的工作台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119993816B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411954506.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种离子束刻蚀机的工作台是由王成宇;赵瓛;黄升;刘洪文设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子束刻蚀机的工作台在说明书摘要公布了：本发明公开了一种离子束刻蚀机的工作台，包括真空腔体、运动模组、扫描小车和抽真空组件；真空腔体与抽真空组件连接，以实现真空腔体内部形成高真空环境；扫描小车设置在真空腔体内，以用于搭载工件进行镀膜；运动模组设置在真空腔体外侧部，并贯穿真空腔体的侧壁，与扫描小车连接，以带动扫描小车在真空腔体内往复移动；真空腔体顶部设有离子束入口，离子束入口下方设有修正板，扫描小车在修正板下方往复移动，离子束依次流经离子束入口和修正板的槽口后注入到扫描小车的工件上，所述修正板的槽口宽度可调节，以实现离子束流进量调节。本发明具有结构紧凑、操作简单、运行稳定且自动化程度高等特点，显著提高了工件镀膜的质量。
本发明授权一种离子束刻蚀机的工作台在权利要求书中公布了：1.一种离子束刻蚀机的工作台，其特征在于，包括真空腔体1、运动模组2、扫描小车8和抽真空组件；所述真空腔体1与抽真空组件连接，以实现真空腔体1内部形成高真空环境；所述扫描小车8设置在真空腔体1内，以用于搭载工件进行镀膜；所述运动模组2设置在真空腔体1外侧部，并贯穿真空腔体1的侧壁，与扫描小车8连接，以带动扫描小车8在真空腔体1内往复移动；所述真空腔体1顶部设有离子束入口16，所述离子束入口16下方设有修正板14，所述扫描小车8在修正板14下方往复移动，离子束依次流经离子束入口16和修正板14的槽口17后注入到扫描小车8的工件上，所述修正板14的槽口17宽度可调节，以实现离子束流进量调节。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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