郑州轻工业大学王新生获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州轻工业大学申请的专利一种磁控溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223561667U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422802581.2，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射设备是由王新生;叶国永;高凯雄;何文斌;毕文江;杨宏杰;李智超;刘琨;曹志嫦设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于镀膜设备技术领域，尤其是一种磁控溅射设备，针对现有的磁控溅射设备在安装靶材时大多是采用螺栓和螺纹固定，安装和拆卸靶材时步骤过于繁琐，导致在进行镀膜作业时需要在安装靶材这一步骤消耗较多的时间，极大的延长了镀膜作业的工序时长，降低了磁控溅射镀膜的效率，现提出以下方案，包括箱体，所述箱体的一侧通过合页连接有箱门,箱门上开设有观察窗，且箱门上设置有密封模块,箱体的外部设置有控制柜。本实用新型公开的一种磁控溅射设备可以在对基片进行不同材料镀膜时实现对靶材的快速拆卸和更换，极大的减少了溅射镀膜工艺的工序等待时间，提高了设备的工作效率。
本实用新型一种磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射设备，包括箱体1，其特征在于，所述箱体1的一侧通过合页连接有箱门2,箱门2上开设有观察窗3，且箱门2上设置有密封模块8,箱体1的外部设置有控制柜4，所述箱体1的底部内壁固定连接有承台板5,承台板5上设置有快速安装模块6,快速安装模块6内设置有靶材15，且箱体1远离箱门2的一侧固定连接有容纳框11,容纳框11内设置有氩气瓶12。
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