深圳市矩阵多元科技有限公司胡小波获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利磁控溅射装置及磁控溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223561668U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423054073.7，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型磁控溅射装置及磁控溅射设备是由胡小波;张晓军;李佳小龙;谢明辉设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射装置及磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种磁控溅射装置及磁控溅射设备。本实用新型的磁控溅射装置包括磁控管和驱动机构，驱动机构与磁控管连接，驱动机构包括第一驱动件和第二驱动件，第一驱动件用于驱动磁控管沿平行于靶材的第一方向移动，第二驱动件用于驱动磁控管沿垂直于靶材的第二方向移动以靠近或远离靶材；其中，磁控管被配置为：受第一驱动件的驱动加速移动时，第二驱动件驱动磁控管朝向靶材移动；受第一驱动件的驱动减速移动时，第二驱动件驱动磁控管远离靶材移动。本实用新型的磁控溅射装置能够延缓靶材被刻蚀贯穿的速度，提高靶材的使用寿命以及靶材的利用率。
本实用新型磁控溅射装置及磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.磁控溅射装置，其特征在于，包括： 磁控管； 驱动机构，所述驱动机构与所述磁控管连接，所述驱动机构包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述磁控管沿平行于靶材的第一方向移动，所述第二驱动件用于驱动所述磁控管沿垂直于靶材的第二方向移动以靠近或远离所述靶材； 其中，所述磁控管被配置为：受所述第一驱动件的驱动加速移动时，所述第二驱动件驱动所述磁控管朝向所述靶材移动；受所述第一驱动件的驱动减速移动时，所述第二驱动件驱动所述磁控管远离所述靶材移动。
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