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龙图腾网获悉徐州美兴光电科技有限公司申请的专利一种光刻机镜头镀膜优化工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223561678U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423248019.6，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种光刻机镜头镀膜优化工装是由曾治铭;王刚;陈付正;吴觉民;杨锤;姚志炎;朱晶设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻机镜头镀膜优化工装在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻机镜头镀膜优化工装，包括底座、驱动部件一、支撑板块、Y轴驱动组件、X轴驱动组件、传动组件、清洁组件和吸附组件，其中，驱动部件一设置在底座内，支撑板块设置在驱动部件一输出端，Y轴驱动组件设置在支撑板块上，Y轴驱动组件包括驱动部件二、固定板块和限位滑块，X轴驱动组件设置在固定板块上，传动组件设置在加工平台上，清洁组件设置在传动组件上，吸附组件设置在加工平台上。由此，通过多向精准移动控制对光刻机镜头进行调节，使其在镀膜时角度更加准确，保证镀膜后有优质的透光率，且及时对无效区域进行清洁，保持无效区域的洁净度，观察便捷且方便清理。

本实用新型一种光刻机镜头镀膜优化工装在权利要求书中公布了：1.一种光刻机镜头镀膜优化工装，其特征在于，包括底座10、驱动部件一20、支撑板块30、Y轴驱动组件40、X轴驱动组件50、传动组件60、清洁组件70和吸附组件80，其中， 所述驱动部件一20设置在所述底座10内； 所述支撑板块30设置在所述驱动部件一20输出端； 所述Y轴驱动组件40设置在所述支撑板块30上，所述Y轴驱动组件40包括驱动部件二401、固定板块402和限位滑块403，其中， 所述驱动部件二401设置在所述支撑板块30上； 所述固定板块402设置在所述驱动部件二401输出端； 所述限位滑块403为两组，两组所述限位滑块403移动地设置在所述支撑板块30上； 所述X轴驱动组件50设置在所述固定板块402上，所述X轴驱动组件50包括底板501、驱动部件三502和加工平台503，其中， 所述底板501设置在所述固定板块402上； 所述驱动部件三502设置在所述底板501上； 所述加工平台503设置在所述驱动部件三502输出端； 所述传动组件60设置在所述加工平台503上； 所述清洁组件70设置在所述传动组件60上； 所述吸附组件80设置在所述加工平台503上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人徐州美兴光电科技有限公司，其通讯地址为：221132 江苏省徐州市经济技术开发区杨山路98号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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