深圳市矩阵多元科技有限公司孙守祥获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种基片电阻加热装置及脉冲激光沉积系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223561680U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422718808.5,技术领域涉及:C23C14/54;该实用新型一种基片电阻加热装置及脉冲激光沉积系统是由孙守祥;凌日康;李炳坤;张晓军;张始灵设计研发完成,并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基片电阻加热装置及脉冲激光沉积系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种基片电阻加热装置及脉冲激光沉积系统,基片电阻加热装置包括:基座,基座具有前侧开口的安装位,安装位的左右两侧分别设有导电部,导电部连接有铜导线;电阻加热结构,电阻加热结构包括安装部和基片,安装部插设于安装位,安装部能前后移动并能从安装位的前侧取出,基片设于安装部,基片为导电材质,安装部插设于安装位时,基片与左右两侧的导电部之间形成导电通路。本实用新型结构简单且成本低,并且能量损耗少、加热速度快,安装操作便捷。
本实用新型一种基片电阻加热装置及脉冲激光沉积系统在权利要求书中公布了:1.一种基片电阻加热装置,其特征在于,包括: 基座,所述基座具有前侧开口的安装位,所述安装位的左右两侧分别设有导电部,所述导电部连接有铜导线; 电阻加热结构,所述电阻加热结构包括安装部和基片,所述安装部插设于所述安装位,所述安装部能前后移动并能从所述安装位的前侧取出,所述基片设于所述安装部,所述基片为导电材质,所述安装部插设于所述安装位时,所述基片与左右两侧的所述导电部之间形成导电通路。
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