江苏中清光伏科技有限公司鲍壮壮获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏中清光伏科技有限公司申请的专利一种ALD悬臂式进出舟装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223561684U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422736588.9,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种ALD悬臂式进出舟装置是由鲍壮壮设计研发完成,并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种ALD悬臂式进出舟装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种ALD悬臂式进出舟装置,包括载舟板,载舟板一端固定连接有炉门,炉门为316L不锈钢材质,炉门底部设有支脚,支脚活动连接有炉门基座,炉门基座为304不锈钢材质,炉门基座底部固定安装有万向轮,位于载舟板上部左、右两边分别活动连接有垫高条,在垫高条靠近炉门的一端活动连接有匀流板。通过载舟板与炉门的固定连接,以及炉门与炉门基座的连接,形成稳固的整体结构,推动炉门基座就可以将载舟板送进ALD炉内,从而实现避免了载舟板底部滚动钢轮与炉管壁滚动摩擦产生金属粉末杂质,进而污染太阳能电池片,造成EL黑边及暗片的问题。
本实用新型一种ALD悬臂式进出舟装置在权利要求书中公布了:1.一种ALD悬臂式进出舟装置,其特征在于:包括载舟板1,所述载舟板1为横向放置的矩形平板,所述载舟板1一端固定连接有炉门2,所述炉门2为矩形框架结构,所述炉门2底部设有支脚21,所述支脚21活动连接有炉门基座3,所述炉门基座3底部固定安装有万向轮31,位于所述载舟板1上部左、右两边分别活动连接有垫高条4,在所述垫高条4靠近炉门2的一端活动连接有匀流板5。
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