艾华(无锡)半导体科技有限公司谯兴川获国家专利权
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龙图腾网获悉艾华(无锡)半导体科技有限公司申请的专利ALD设备双丝杆垂直传动及水平移载装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223561685U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423069852.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型ALD设备双丝杆垂直传动及水平移载装置是由谯兴川设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本ALD设备双丝杆垂直传动及水平移载装置在说明书摘要公布了：本实用新型是ALD设备双丝杆垂直传动及水平移载装置，其结构包括相互平行相邻安装在立柱框中心两侧的第一升降Y轴组件和第二升降Y轴组件，立柱框两侧沿长度方向设有直线导轨，直线导轨顶端设限位挡块，上下分布的搬运X轴组件和推拉X轴组件两端都分别通过装有滑块的滑块安装板滑动连接在对应直线导轨上，第一升降Y轴组件和第二升降Y轴组件分别驱动连接搬运X轴组件和推拉X轴组件。本实用新型的优点：结构设计合理，实现垂直方向上两个负载单独运动，实现了ALD镀膜设备中的龙门搬运组件在垂直方向任意位置上的定位，投入成本低，可有效满足高精度工况要求，稳定性高，维护便捷。
本实用新型ALD设备双丝杆垂直传动及水平移载装置在权利要求书中公布了：1.ALD设备双丝杆垂直传动及水平移载装置，其特征在于，包括相互平行相邻安装在立柱框0100中心两侧的第一升降Y轴组件0200和第二升降Y轴组件0500，立柱框0100两侧沿长度方向设有直线导轨1400，直线导轨1400顶端设限位挡块0600，上下分布的搬运X轴组件0300和推拉X轴组件0400两端都分别通过装有滑块的滑块安装板0700滑动连接在对应直线导轨1400上，第一升降Y轴组件0200和第二升降Y轴组件0500分别驱动连接搬运X轴组件0300和推拉X轴组件0400。
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