拉普拉斯新能源科技股份有限公司罗飞获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利反应炉以及加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223561686U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423106514.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型反应炉以及加工设备是由罗飞;毛文龙;梁笑设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本反应炉以及加工设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种反应炉以及加工设备，涉及半导体或光伏材料加工领域，解决了传统的氧气管向反应腔进气不均匀的技术问题。该反应炉包括：炉管组件，炉管组件具有沿第一水平方向延伸的反应腔；至少两个进气管，分别设置于反应腔的第一端和第二端，每个进气管的侧壁具有至少一个进气孔；进气组件，由反应腔的外部伸入至反应腔内，并与至少两个进气管连通，被配置为向至少两个进气管提供工艺气体。通过这种结构，能够通过至少两个进气管将工艺气体分别输送至反应腔的第一端和第二端，使工艺气体在进入反应腔时分散开，有利于提高反应腔内气场的均匀性，并且避免了局部温度大幅下降，从而能够提升产品镀膜的均匀性，以提升产品的良品率。
本实用新型反应炉以及加工设备在权利要求书中公布了：1.一种反应炉，其特征在于，包括： 炉管组件，所述炉管组件具有沿第一水平方向延伸的反应腔； 至少两个进气管，分别设置于所述反应腔的第一端和第二端，每个所述进气管的侧壁具有至少一个进气孔； 进气组件，由所述反应腔的外部伸入至所述反应腔内，并与至少两个所述进气管连通，被配置为向至少两个所述进气管提供工艺气体。
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