宸微设备科技(苏州)有限公司张璞获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利原子层沉积设备的进气装置及原子层沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223561687U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423167705.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型原子层沉积设备的进气装置及原子层沉积设备是由张璞;刘亚男;李靖设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本原子层沉积设备的进气装置及原子层沉积设备在说明书摘要公布了：一种原子层沉积设备的进气装置及原子层沉积设备，原子层沉积设备的进气装置包括：前驱体供气系统和进气吹扫系统，前驱体供气系统与原子层沉积设备的反应腔室连接；前驱体供气系统包括N路前驱体供气支路；进气吹扫系统包括N路第一吹扫支路，第一吹扫支路分别与前驱体供气支路一一对应连接，进气吹扫系统用于向反应腔室提供吹扫气；N≥3，且为自然数。由于各路前驱体供气支路能够向反应腔室提供不同的前驱体，使得包含本实用新型所述的进气装置的原子层沉积设备能够制备具有单种材料的膜层结构和具有多种材料的叠层的膜层结构，有利于提高设备利用率，还有利于减少晶圆在不同工艺设备之间传输的时间，提高工艺效率以及降低晶圆被污染的概率。
本实用新型原子层沉积设备的进气装置及原子层沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积设备的进气装置，其特征在于，包括：前驱体供气系统和进气吹扫系统，所述前驱体供气系统与所述原子层沉积设备的反应腔室连接； 所述前驱体供气系统包括N路前驱体供气支路； 所述进气吹扫系统包括N路第一吹扫支路，所述第一吹扫支路分别与所述前驱体供气支路一一对应连接，所述进气吹扫系统用于向所述反应腔室提供吹扫气； 其中，N≥3，且N为自然数。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人宸微设备科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215299 江苏省苏州市吴江区江陵街道芦荡路228号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励