眉山博雅新材料股份有限公司王宇获国家专利权
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龙图腾网获悉眉山博雅新材料股份有限公司申请的专利一种装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223561688U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423220057.0,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种装置是由王宇;顾鹏设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种装置在说明书摘要公布了:本说明书实施例提供一种装置,该装置包括:第一挡板,第一挡板上开设有第一换气口;支撑环,沿其轴向的第一端面与第一挡板连接,沿其轴向的第二端面能够通过第一配接部与第一待沉积件配接;第二挡板,第二挡板上开设有第二换气口,且第二挡板能够通过第二配接与第一待沉积件配接。其中,当第一待沉积件同时与支撑环和第二挡板配接时,第一挡板、支撑环、第一待沉积件和第二挡板共同围合出沉积腔,且第一待沉积件的待沉积面构成沉积腔的部分内壁。
本实用新型一种装置在权利要求书中公布了:1.一种装置,应用于一种或多种待沉积件的化学气相沉积工艺,其特征在于,所述装置包括: 第一挡板,所述第一挡板上开设有第一换气口; 支撑环,所述支撑环沿其轴向的第一端面与所述第一挡板连接,所述支撑环沿其轴向的第二端面能够通过第一配接部与第一待沉积件配接; 第二挡板,所述第二挡板上开设有第二换气口,且所述第二挡板能够通过第二配接部与所述第一待沉积件配接; 其中,当所述第一待沉积件同时与所述支撑环和所述第二挡板配接时,所述第一挡板、所述支撑环、所述第一待沉积件和所述第二挡板共同围合出沉积腔,且所述第一待沉积件的待沉积面构成所述沉积腔的部分内壁。
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