江苏微导纳米科技股份有限公司黄就欢获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利进气装置和沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223561689U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423255950.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型进气装置和沉积设备是由黄就欢设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本进气装置和沉积设备在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种进气装置以及具有该进气装置的沉积设备，通过设置进气柱来将进气管与喷淋板连接，从进气管输送而来的反应气体则可以通过将进气柱上设置的多个进气孔送向喷淋板，其中由于进气孔的内径尺寸小于或等于1mm，因此可以抑制反应气体在进气孔中产生等离子体，以避免薄膜出现颗粒跟进气装置异常升温的问题。
本实用新型进气装置和沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种进气装置，其特征在于，包括进气管410以及与所述进气管410的一端连接的进气柱420，所述进气柱420远离所述进气管410的一端用于与喷淋板300连接，其中，所述进气柱420设置多个进气孔421，所述进气孔421的内径尺寸小于或等于1mm。
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