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南京百识电子科技有限公司邱洪龙获国家专利权

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龙图腾网获悉南京百识电子科技有限公司申请的专利一种包括两段式隔热桶的碳化硅外延炉装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223561756U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422916868.8,技术领域涉及:C30B29/36;该实用新型一种包括两段式隔热桶的碳化硅外延炉装置是由邱洪龙;党帅;肖陆军;罗艾设计研发完成,并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种包括两段式隔热桶的碳化硅外延炉装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种包括两段式隔热桶的碳化硅外延炉装置,属于碳化硅加工设置领域。上述装置包括上腔体和下腔体;上腔体的顶部为进气装置,内部设有两段式隔热桶,进气装置与两段式隔热桶相连通,两段式隔热桶的外侧设置加热区,两段式隔热桶包括上部隔热桶和下部隔热桶,上部隔热桶和下部隔热桶通过可拆卸式连接结构连接;下腔体的内部设有旋转装置,旋转装置上安装有外延生长区。本实用新型采用两段式隔热桶替代传统一体式隔热桶,周期更换时只需更换下部隔热桶,分段后下部隔热桶备件高度降低,整体备件因尺寸带来的材料成本节省一半以上;同时因成本优势显著,使得更换下部隔热桶周期大大缩短,产品表面良率得到更好的兼顾。

本实用新型一种包括两段式隔热桶的碳化硅外延炉装置在权利要求书中公布了:1.一种包括两段式隔热桶的碳化硅外延炉装置,其特征在于,包括上腔体和设于上腔体下方的下腔体;所述上腔体的顶部为进气装置,内部设有两段式隔热桶,进气装置与两段式隔热桶相连通,所述两段式隔热桶的外侧设置加热区,所述两段式隔热桶包括上部隔热桶和下部隔热桶,上部隔热桶和下部隔热桶通过可拆卸式连接结构连接;所述下腔体的内部设有旋转装置,旋转装置上安装有外延生长区,外延生长区的下方设有外延加热区。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京百识电子科技有限公司,其通讯地址为:211806 江苏省南京市浦口区大余所路5号11号楼中科创新产业园区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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