先微精艺(苏州)科技有限公司王铭志获国家专利权
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龙图腾网获悉先微精艺(苏州)科技有限公司申请的专利适用于半导体化学药液输送的防滴漏阀获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223563596U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520037091.X，技术领域涉及：F16K31/126；该实用新型适用于半导体化学药液输送的防滴漏阀是由王铭志;陈明;许培元;巩森;郑振祥设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本适用于半导体化学药液输送的防滴漏阀在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种适用于半导体化学药液输送的防滴漏阀，包括有阀本体，阀本体内分布有导通控制腔，导通控制腔位于阀本体的两侧分布有流入机构与流出机构，阀本体的上端安装有执行器主体，阀本体的下端安装有自动回吸下执行体，执行器主体的侧面分布有气源接口；执行器主体的上端安装有上执行体，执行器主体内安装有控制轴，执行器主体与阀本体的结合端面安装有上隔膜，上隔膜的上端与控制轴接触；自动回吸下执行体内安装有下隔膜，下隔膜上连接有密封锥，密封锥的上端与上隔膜接触，密封锥的上端位于导通控制腔内。采用下隔膜、上隔膜的相互配合，可通过气源的流入来控制腔内压差而进行导通控制，响应迅速。
本实用新型适用于半导体化学药液输送的防滴漏阀在权利要求书中公布了：1.适用于半导体化学药液输送的防滴漏阀，包括有阀本体，所述阀本体内分布有导通控制腔，所述导通控制腔位于阀本体的两侧分布有流入机构与流出机构，其特征在于：所述阀本体的上端安装有执行器主体，所述阀本体的下端安装有自动回吸下执行体，所述执行器主体的侧面分布有气源接口； 所述执行器主体的上端安装有上执行体，所述执行器主体内安装有控制轴，所述执行器主体与阀本体的结合端面安装有上隔膜，所述上隔膜的上端与控制轴接触； 所述自动回吸下执行体内安装有下隔膜，所述下隔膜上连接有密封锥，所述密封锥的上端与上隔膜接触，所述密封锥的上端位于导通控制腔内。
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