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龙图腾网获悉睿励科学仪器(上海)有限公司申请的专利一种多级腔室系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223565045U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423298708.8，技术领域涉及：G01D21/02；该实用新型一种多级腔室系统是由郭艳玲;姚岭设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多级腔室系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种多级腔室系统，其中，多级腔室系统通过设置多级腔室结构、第一及第二电动门阀、第一及第二压力传感器、主控装置，实现了对检测腔室和过渡腔室内部气压的监控。主控装置通过第一和第二压力传感器实时监测检测腔室和过渡腔室的压力值，防止出现人工读数的误判，同时主控装置根据这些压力数据自动判断出检测腔室与过渡腔室、过渡腔室与上下料腔室之间的压力差范围，进而精确判断第一及第二电动门阀的打开时机，避免了人工操作可能出现的误操作，保证检测腔室与过渡腔室连通时或过渡腔室与上下料腔室连通时的安全性。本申请的设计不仅提高了操作的效率，还极大地降低了因人工操作不当导致的风险，有效降低检测过程中可能出现物料损坏、设备损坏以及相关管路损坏的风险。

本实用新型一种多级腔室系统在权利要求书中公布了：1.一种多级腔室系统，用于半导体检测，其特征在于，包括： 多级腔室结构，包括依次相邻设置的检测腔室1、过渡腔室2和上下料腔室3；所述上下料腔室3的内部压力值始终等于大气压值； 第一电动门阀4，其打开或关闭，以使所述检测腔室1与所述过渡腔室2连通或保持隔离； 第二电动门阀5，其打开或关闭，以使所述过渡腔室2与所述上下料腔室3连通或保持隔离； 第一压力传感器10，设置于所述检测腔室1内； 第二压力传感器11，设置于所述过渡腔室2内； 主控装置12，与所述第一压力传感器10、所述第二压力传感器11、所述第一电动门阀4和所述第二电动门阀5通信连接； 其中，所述主控装置12通过所述第一压力传感器10获取到所述检测腔室1的内部压力值，记为第一压力值；所述主控装置12通过所述第二压力传感器11获取到所述过渡腔室2的内部压力值，记为第二压力值；所述上下料腔室3的内部压力值记为第三压力值； 所述主控装置12中预存有第一差值阈值和第二差值阈值； 所述主控装置12比较所述第一压力值与所述第二压力值大小，得到第一差值绝对值，并判断第一差值绝对值是否大于第一差值阈值；若否，则控制所述第一电动门阀4打开；若是，则控制所述第一电动门阀4保持关闭； 所述主控装置12比较所述第二压力值与所述第三压力值大小，得到第二差值绝对值，并判断第二差值绝对值是否大于第二差值阈值；若否，则控制所述第二电动门阀5打开；若是，则控制所述第二电动门阀5保持关闭。

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