东莞市诺丽半导体技术有限公司朱晓东获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市诺丽半导体技术有限公司申请的专利晶圆外观检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223565595U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422901257.6，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型晶圆外观检测装置是由朱晓东;张桂设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆外观检测装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆外观检测装置，包括底板、定位板、高度调节板、高度调节平台、夹具和镜头。其中，定位板立设在底板，高度调节板设置在定位板背向底板的一侧。高度调节平台包括控制模组、固定座和滑动件，固定座贴合固定在高度调节板背向定位板的一侧，固定座背向高度调节板的一侧凸伸出沿高度方向延伸的滑轨，滑动件安装在滑轨上。滑动件背向固定座的一侧固定夹具，夹具夹持固定镜头。控制模组位于固定座和滑动件的一侧，用于控制滑动件的滑动。本申请的晶圆外观检测装置可直接对工序设备中的晶圆进行检测，而无需从工序设备中取出晶圆，减少取出晶圆较为繁琐的操作，同时降低晶圆取出时因操作不当而受到损害的可能。
本实用新型晶圆外观检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆外观检测装置，其特征在于，包括底板、定位板、高度调节板、高度调节平台、夹具和镜头；所述定位板立设在所述底板，所述高度调节板设置在所述定位板背向所述底板的一侧；所述高度调节平台包括控制模组、固定座和滑动件，所述固定座贴合固定在所述高度调节板背向所述定位板的一侧，所述固定座背向所述高度调节板的一侧凸伸出沿高度方向延伸的滑轨，所述滑动件安装在所述滑轨上；所述滑动件背向所述固定座的一侧固定所述夹具，所述夹具夹持固定所述镜头；所述控制模组位于所述固定座和所述滑动件的一侧，用于控制所述滑动件的滑动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东莞市诺丽半导体技术有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市万江街道万盛路10号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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