源卓微纳科技(苏州)股份有限公司张柯获国家专利权
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龙图腾网获悉源卓微纳科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种多波段直写式曝光镜头及曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223566026U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422649045.3，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种多波段直写式曝光镜头及曝光设备是由张柯;魏帅;刘浩强;张雷设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多波段直写式曝光镜头及曝光设备在说明书摘要公布了：一种多波段直写式曝光镜头及曝光设备，所述多波段直写式曝光镜头包括光源和成像镜头，所述光源发出的光线通过所述成像镜头投影至工件，所述光源为微发光二极管阵列，所述微发光二极管阵列连接图形控制单元，所述图形控制单元控制每个微发光二极管的开启或者关闭，所述微发光二极管阵列中包括至少两种波长的微发光二极管。所述直写式曝光镜头采用多波段微发光二极管阵列作为光源对工件进行曝光，减少了中间的光束反射机构，减少了光能量损耗，曝光效率高，且曝光镜头的空间结构减小，便于密集排布。
本实用新型一种多波段直写式曝光镜头及曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种多波段直写式曝光镜头，其包括光源和成像镜头，所述光源发出的光线通过所述成像镜头投影至工件，其特征在于：所述光源为微发光二极管阵列，所述微发光二极管阵列连接图形控制单元，所述图形控制单元控制每个微发光二极管的开启或者关闭，所述微发光二极管阵列中包括至少两种波长的微发光二极管。
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