源卓微纳科技(苏州)股份有限公司汪旭获国家专利权
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龙图腾网获悉源卓微纳科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种曝光镜头冷却装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223566028U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423152110.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种曝光镜头冷却装置是由汪旭;马运军;马云龙;吕亮;张雷设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光镜头冷却装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种曝光镜头冷却装置，包括镜筒、封装于所述镜筒内的多个镜片组、设置于所述镜筒内部的冷却气体通道，所述冷却气体通道包括：设置于所述镜筒外壁两端的进气口和出气口，设置于所述镜筒内部用于引导冷却气体沿着所述镜片组的表面流动的气流导向通道；空气经过冷干机处理后，进入三联件进行流量和压力调节，调节后的气体通过三级过滤器，逐级过滤颗粒物进入镜头内部，气体进入镜头内部后，通过气流导向通道均匀流经镜片表面，实现高效散热。
本实用新型一种曝光镜头冷却装置在权利要求书中公布了：1.一种曝光镜头冷却装置，其特征在于，包括镜筒、封装于所述镜筒内的多个镜片组、设置于所述镜筒内部的冷却气体通道，所述冷却气体通道包括：设置于所述镜筒外壁两端的进气口和出气口，设置于所述镜筒内部用于引导冷却气体沿着所述镜片组的表面流动的气流导向通道。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人源卓微纳科技(苏州)股份有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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