合肥芯碁微电子装备股份有限公司叶飞获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利曝光装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223566032U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423309294.4,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型曝光装置是由叶飞设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种曝光装置,曝光装置包括:机台;玻璃夹紧组件,玻璃夹紧组件设置于机台上,玻璃包括上玻璃夹紧件和下玻璃夹紧件,上玻璃夹紧件和下玻璃夹紧件相对设置,以适于将两者之间的物料夹紧,上玻璃夹紧件的一端相对下玻璃夹紧件可向上转动。由此,通过设置上玻璃夹紧件和下玻璃夹紧件将物料夹紧设置在待曝光位置,这样可以将卷料夹紧,可以保证曝光区域卷料的平整性,从而可以保证曝光的质量。
本实用新型曝光装置在权利要求书中公布了:1.一种曝光装置,其特征在于,包括: 机台; 张紧组件,所述张紧组件为两个,两个所述张紧组件分别设置于所述机台第一方向的两端,以将依次穿设两个所述张紧组件的物料张紧,两个所述张紧组件选择性地同时升降; 玻璃夹紧组件,所述玻璃夹紧组件设置于机台上且位于两个所述张紧组件之间,述玻璃夹紧组件包括上玻璃夹紧件和下玻璃夹紧件,所述上玻璃夹紧件和所述下玻璃夹紧件相对设置,以适于将两者之间的物料夹紧,所述上玻璃夹紧件的一端相对所述下玻璃夹紧件可向上转动。
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