江苏京创先进电子科技有限公司王永强获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏京创先进电子科技有限公司申请的专利清洗装置、清洗机及半导体器件加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223566579U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422558819.1,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型清洗装置、清洗机及半导体器件加工设备是由王永强;童永娟;孙志超;赵锋;蔡国庆设计研发完成,并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗装置、清洗机及半导体器件加工设备在说明书摘要公布了:本实用新型揭示了清洗装置、清洗机及半导体器件加工设备。其中清洗装置包括清洗桶体及设置在所述清洗桶体内的由旋转驱动组件驱动自转的吸片台,所述清洗桶体的顶部设置有由驱动组件驱动相对所述清洗桶体翻转或升降实现开闭的顶盖,所述顶盖上设置有摆臂清洗组件,所述摆臂清洗组件的动力部件位于所述顶盖的上侧。本实用新型的清洗装置将摆臂清洗组件设置在顶盖上,从而摆臂清洗组件可以直接设置在吸片台的正上方,不仅不需要复杂的防水结构,同时可以省去摆臂清洗组件所占用的水平空间,且摆臂的长度可以设置的更短,更不需要设置额外的转轴,有利于摆臂清洗组件的结构简化,更有利于清洗装置的小型化。
本实用新型清洗装置、清洗机及半导体器件加工设备在权利要求书中公布了:1.清洗装置,包括清洗桶体及设置在所述清洗桶体内的由旋转驱动组件驱动自转的吸片台,所述清洗桶体的顶部设置有由驱动组件驱动相对所述清洗桶体翻转或升降实现开闭的顶盖,其特征在于:所述顶盖上设置有摆臂清洗组件,所述摆臂清洗组件的动力部件位于所述顶盖的上侧;所述动力部件为旋转气缸或电机;所述顶盖上设置有离子风机。
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