无锡琨圣智能装备股份有限公司邵玉林获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡琨圣智能装备股份有限公司申请的专利一种清洗液可循环的基片清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223566583U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422901844.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种清洗液可循环的基片清洗装置是由邵玉林;朱海标;陈玉洁;瞿鹏飞;耿菲设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗液可循环的基片清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于基片清洗技术领域，具体涉及一种清洗液可循环的基片清洗装置，包括清洁槽和处理槽；超声波对基片进行清洗后，所述清洁槽中形成分散体系，所述分散体系在所述清洁槽和处理槽中定向流通并循环。所述基片清洗装置还包括分离载体，设置于所述分散体系的流通路径上，并对其进行筛分；吹扫装置，包括吹扫气发生器，用于产生吹扫气体；还包括与吹扫气发生器相连接的吹扫气管，其管壁上开设多组吹扫口，用于喷射吹扫气体；所述分离载体设置于所述吹扫装置的吹扫范围内。本实用新型设置分离载体对清洗液进行进化，实现清洗液的循环利用；同时，吹扫装置能够对分离载体自身进行清理，维持过滤效率稳定，使清洗液循环净化过程能够可持续地进行。
本实用新型一种清洗液可循环的基片清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种清洗液可循环的基片清洗装置，包括清洁槽1和处理槽2，所述清洁槽1内设置有清洗液的容置空间和超声波清洗装置；超声波对基片进行清洗后，所述清洁槽1中形成分散体系，所述分散体系在所述清洁槽1和处理槽2中流通并循环，其特征在于，所述基片清洗装置还包括： 分离载体2.1，设置于所述分散体系的流通路径上，并对其进行筛分；吹扫装置3，包括吹扫气发生器3.2，用于产生吹扫气体；还包括与所述吹扫气发生器3.2相连接的吹扫气管3.1，所述吹扫气管3.1设置在所述分散体系的流通路径上；所述吹扫气管3.1管壁上开设多组吹扫口3.11，用于喷射所述吹扫气体； 所述分离载体2.1设置于所述吹扫装置3的吹扫气体喷射范围内。
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