威海鸿蒙信息科技有限公司江洪勇获国家专利权
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龙图腾网获悉威海鸿蒙信息科技有限公司申请的专利一种半导体加工用清洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223566586U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423012200.7,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种半导体加工用清洗设备是由江洪勇设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工用清洗设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体加工用清洗设备包括机柜,所述机柜上设有工作台,所述机柜内安装有水泵,所述水泵上固定连接有供水管,还包括:分流组件和通槽,所述分流组件与供水管相连通,所述分流组件可拆卸的安装在通槽内,所述分流组件包括一对分流板,一对所述分流板之间安装有多根清洗管,多根所述清洗管相对称安装在一对分流板的相对侧壁上,所述清洗管上固定连接有多个固定块,所述固定块上开设有插槽,所述清洗管上固定连接有与固定块相匹配的喷头。与现有技术相比,本实用新型的半导体加工用清洗设备,能够显著提升晶圆的清洗效果,有效缩短生产周期,同时大幅减少清洗液的使用量,从而降低生产成本。
本实用新型一种半导体加工用清洗设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体加工用清洗设备,包括机柜,所述机柜上设有工作台,所述机柜内安装有水泵,所述水泵上固定连接有供水管,其特征在于,还包括: 通槽,所述通槽开设在工作台上,所述通槽贯穿工作台; 分流组件;所述分流组件与供水管相连通,所述分流组件可拆卸的安装在通槽内,所述分流组件包括一对分流板,一对所述分流板之间安装有多根清洗管,多根所述清洗管相对称安装在一对分流板的相对侧壁上,所述清洗管上固定连接有多个固定块,所述固定块上开设有插槽,所述清洗管上固定连接有与固定块相匹配的喷头。
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