昆山英博尔电子科技有限公司熊祥祥获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山英博尔电子科技有限公司申请的专利一种晶圆清洗花篮获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223566593U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422909434.5，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种晶圆清洗花篮是由熊祥祥;廖鸿峰设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗花篮在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆清洗花篮，包括提拉杆部以及设置于提拉杆部下部一侧的装载篮，装载篮包括基座，基座的左右两侧分别对称形成向上突起的延伸侧部，基座的顶表面呈凹陷的弧形状，并且基座的中间开设有通口，在基座的顶表面沿着其延伸方向阵列形成有数个间隔开的凹陷的放置卡槽，并于延伸侧部的内壁凹陷设置有与每一条放置卡槽一一对应的数个限位槽；延伸侧部的侧壁中间开设有侧开口，所述基座上开设有若干上下贯通的镂孔。本实用新型可实现对晶圆更加可靠的保护效果，而且可达到清洗均匀性的目的，实现较好的清洗质量，并且清洗完毕后的晶圆取出工作也十分方便。
本实用新型一种晶圆清洗花篮在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗花篮，其特征在于，包括提拉杆部1以及设置于提拉杆部1下部一侧的装载篮2，所述装载篮2包括基座21，所述基座21的左右两侧分别对称形成向上突起的延伸侧部22，所述基座21的顶表面呈凹陷的弧形状，并且基座21的中间开设有通口211，在所述基座21的顶表面沿着其延伸方向阵列形成有数个间隔开的凹陷的放置卡槽212，并于所述延伸侧部22的内壁凹陷设置有与每一条放置卡槽212一一对应的数个限位槽221；所述延伸侧部22的侧壁中间开设有侧开口222，所述基座21上开设有若干上下贯通的镂孔213。
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