深圳市联得半导体技术有限公司钟履泉获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市联得半导体技术有限公司申请的专利晶圆巡边装置及检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223566598U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422955361.3，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型晶圆巡边装置及检测设备是由钟履泉;胡金;赖太辛;廖伟设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆巡边装置及检测设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆巡边装置及检测设备，晶圆巡边装置包括承载组件和驱动组件，承载组件包括承托结构及可转动地套于承托结构的轴套，轴套的内壁的至少部分区域与承托结构外壁间隔而形成导压腔，轴套用于供气压发生器连通导压腔，承托结构内设有与导压腔连通的导压通道，承托结构的两端分别外伸于轴套，导压通道经其中一端连通外部，用于将晶圆吸附于承托结构的一端；驱动组件包括连接座及设于连接座的旋转驱动器，旋转驱动器与承托结构的另一端连接，以驱动承托结构转动；其中，轴套与连接座连接而相对连接座固定。
本实用新型晶圆巡边装置及检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆巡边装置，其特征在于，所述晶圆巡边装置包括： 承载组件，包括承托结构及可转动地套于所述承托结构的轴套，所述轴套的内壁的至少部分区域与所述承托结构外壁间隔而形成导压腔，所述轴套用于供气压发生器连通所述导压腔，所述承托结构内设有与所述导压腔连通的导压通道，所述承托结构的两端分别外伸于所述轴套，所述导压通道经其中一端连通外部，用于将晶圆吸附于所述承托结构的一端； 驱动组件，包括连接座及设于所述连接座的旋转驱动器，所述旋转驱动器与所述承托结构的另一端连接，以驱动所述承托结构转动； 其中，所述轴套与所述连接座连接而相对所述连接座固定。
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