扬州扬杰电子科技股份有限公司唐红梅获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州扬杰电子科技股份有限公司申请的专利一种晶圆加工用吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223566605U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423106298.2，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆加工用吸附装置是由唐红梅;张晓勇;王毅设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加工用吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种晶圆加工用吸附装置，包括晶圆吸附安装组件，所述晶圆吸附安装组件包括设置的安装架、设置在所述安装架前端的凹型连接架、设置在所述凹型连接架前端的连接头、将所述凹型连接架与安装架连接的第二电动转轴、将所述凹型连接架与连接头连接的第三电动转轴；切换吸附组件，所述切换吸附组件还包括与所述连接头连接的圆管、与所述圆管连通的吸气管、连接在所述圆管侧壁的承接板、设置在所述承接板底面的第四电动转轴。本实用新型通过设置的晶圆吸附安装组件和切换吸附组件的相互配合，达到在使用时，当吸附头损坏影响吸附效果时，吸附头自动旋转切换，无需立即停机检修，确保吸附装置的使用效率。
本实用新型一种晶圆加工用吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工用吸附装置，其特征在于，包括： 晶圆吸附安装组件，所述晶圆吸附安装组件包括设置的安装架11、设置在所述安装架11前端的凹型连接架13、设置在所述凹型连接架13前端的连接头14、将所述凹型连接架13与安装架11连接的第二电动转轴15、将所述凹型连接架13与连接头14连接的第三电动转轴16； 切换吸附组件，所述切换吸附组件还包括与所述连接头14连接的圆管24、与所述圆管24连通的吸气管25、连接在所述圆管24侧壁的承接板23、设置在所述承接板23底面的第四电动转轴21、与所述第四电动转轴21连接的电动伸缩杆22、与所述电动伸缩杆22连接的底板210、设置在所述底板210侧面的第五电动转轴211、与所述第五电动转轴211连接的连接板26、与所述连接板26固定的锥形连接头29、与所述锥形连接头29连通的第二吸盘28、连接在所述底板210侧面的第一吸盘27。
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