诺特思半导体科技(苏州)有限公司张志宗获国家专利权
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龙图腾网获悉诺特思半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶片顶升设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223566606U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422829918.9,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种晶片顶升设备是由张志宗设计研发完成,并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片顶升设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种晶片顶升设备,包括X、Y轴微调机构、Z轴升降机构和顶升机构,所述X、Y轴微调机构上连接有顶升连接板,所述顶升连接板上连接有Z轴升降机构,所述Z轴升降机构上连接有在沿X、Y、Z轴移动的顶升机构。本是实用新型能提高工作效率。
本实用新型一种晶片顶升设备在权利要求书中公布了:1.一种晶片顶升设备,其特征在于:包括X、Y轴微调机构1、Z轴升降机构2和顶升机构3,所述X、Y轴微调机构1上连接有顶升连接板4,所述顶升连接板4上连接有Z轴升降机构2,所述Z轴升降机构2上连接有在沿X、Y、Z轴移动的顶升机构3; 所述顶升机构3包括凸轮箱31,所述凸轮箱31的外侧通过马达固定板34连接有马达35,所述马达35的驱动轴伸入凸轮箱31内与顶升块317相连,所述凸轮箱31的一侧与Z轴升降机构2相连,所述凸轮箱31的另一侧上方连接有真空罐32,所述真空罐32内穿接有传动杆33,所述传动杆33的底部伸入凸轮箱31内与顶升块317相接触,所述传动杆33的顶端与顶升座36相连,所述顶升座36上连接有顶针冒37。
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