应用材料公司雅各布·纽曼获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利运输系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112840447B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980067458.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权运输系统是由雅各布·纽曼;U·奥尔登多夫;马丁·艾尼斯;安德鲁·J·康斯坦特;谢伊·阿萨夫;杰弗里·C·赫金斯;亚历克斯·伯杰;威廉·T·韦弗设计研发完成，并于2019-10-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本运输系统在说明书摘要公布了：本文的实施方式涉及运输系统和基板处理及传送SPT系统。SPT系统包含连接两个处理工具的运输系统。运输系统包含真空隧道，真空隧道被配置为在处理工具之间运输基板。真空隧道包含基板运输载具，以移动基板通过真空隧道。SPT系统具有多种配置以允许用户根据期望的基板处理程序所需的处理腔室来增加或移除处理腔室。
本发明授权运输系统在权利要求书中公布了：1.一种运输系统，包括： 真空隧道，所述真空隧道被配置为与第一处理工具和第二处理工具交界，所述真空隧道包括： 扩大区域； 基板运输载具，包括： 载具主体；和 末端执行器，所述末端执行器耦接至所述载具主体，所述末端执行器被配置为在运输期间在所述真空隧道内支撑基板，所述末端执行器被配置为延伸进入所述第一处理工具或所述第二处理工具以取出或放置基板，同时所述载具主体保持于所述真空隧道内；和 旋转台，所述旋转台设置于所述扩大区域中，所述旋转台被配置为在0度及180度之间旋转所述基板运输载具，以面对所述第一处理工具或所述第二处理工具的一个， 其中所述真空隧道进一步包括计量工具，其中所述计量工具被配置为对放置于所述末端执行器上的所述基板实行计量，同时所述基板运输载具位于所述扩大区域内并且由所述旋转台来旋转。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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