深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种预定位承载装置及定位承载方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113053794B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110335470.3，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种预定位承载装置及定位承载方法是由陈鲁;张龙;黄有为;张嵩设计研发完成，并于2021-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种预定位承载装置及定位承载方法在说明书摘要公布了：一种预定位承载装置及定位承载方法，其中，装置包括承载件、校正件和定位件；校正件可拆卸连接承载件，且校正件设有用于匹配承载件的收纳位；承载件可控地沿第一方向运动，以在被收纳于收纳位内时，使承载件的中心与校正件的中心重合；定位件至少三个并且围绕第一方向分布，定位件可控地沿与第一方向相交的第二方向运动，以便在抵靠校正件边缘后，由定位件所围成的几何区域的中心与校正件的中心重合。利用校正件作为基准元件，可通过调整多个定位件之间的相对位置关系，来实现对定位件位置的校正定位，从而得以确定由各定位件所围成的区域的中心，使该区域的中心与承载件的中心重合，为承载件与工件之间的精准对位以及均匀承载施力提供保障。
本发明授权一种预定位承载装置及定位承载方法在权利要求书中公布了：1.一种预定位承载装置，其特征在于，包括： 承载件，可控地沿第一方向运动，所述承载件用于固定并承载工件； 校正件，用于匹配工件，所述校正件可拆卸连接承载件，且所述校正件上设有收纳位，所述收纳位的形状尺寸与承载件的形状尺寸相匹配；所述收纳位用于容纳所述承载件，以使所述承载件的中心与校正件的中心重合；以及 定位件，用于抵靠所述校正件的边缘，所述定位件至少三个且围绕第一方向分布；所述定位件可控地沿第二方向运动，以使所有所述定位件所围成的几何区域的中心与校正件的中心重合；其中，所述第二方向与第一方向相交。
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