FEI 公司M·库伊珀获国家专利权
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龙图腾网获悉FEI 公司申请的专利用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113281260B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110187252.X,技术领域涉及:G01N21/17;该发明授权用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法是由M·库伊珀;M·R-J·沃斯;O·L·沙涅尔;P·戈登多普设计研发完成,并于2021-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法。所述样品包括嵌入基质层内的试样。所述装置包括:光源,其被布置成用于将光束导向所述样品;以及检测器,其被布置成用于响应于所述光束入射到所述样品上而检测从所述样品发射的光。最后,所述装置包括控制器,所述控制器连接到所述检测器,并且被布置成基于由所述检测器接收到的信号来确定所述基质层的特性。
本发明授权用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法在权利要求书中公布了:1.一种用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品3的特性的装置1,所述样品3包括嵌入基质层7内的试样5,其中所述装置1包括: -光源11,其被布置成用于将光束导向所述样品,并且所述光束包括第一颜色的第一波束、第二颜色的第二波束和第三颜色的第三波束; -检测器12,其被布置成用于响应于所述光束入射到所述样品上而检测从所述样品发射的光;以及 -控制器13,其连接到所述检测器,并且被布置成基于由所述检测器接收到的信号中所示的第一波束、第二波束和第三波束之间的多波束干涉图案来确定所述基质层的特性。
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