日本株式会社日立高新技术科学小野田有吾获国家专利权
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龙图腾网获悉日本株式会社日立高新技术科学申请的专利试样的膜厚的校正方法、试样的复折射率的计算方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113759149B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110527321.7，技术领域涉及：G01Q60/24；该发明授权试样的膜厚的校正方法、试样的复折射率的计算方法是由小野田有吾;山本浩令;相苏亨;汪子涵;佐藤荣广设计研发完成，并于2021-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本试样的膜厚的校正方法、试样的复折射率的计算方法在说明书摘要公布了：提供显微镜系统、试样的观察方法、试样的膜厚的校正方法、试样的复折射率的计算方法。抑制悬臂与试样发生碰撞那样的麻烦。显微镜系统100具有：探针单元40，其具有悬臂43：照相机15；照相机位置微调机构17，其为了调整照相机相对于试样S的位置，对该照相机进行驱动；以及计算机30，其控制照相机位置微调机构而使照相机移动，使得照相机15的焦点对准于悬臂43的背面或试样的表面。计算机根据使照相机的位置从使照相机15的焦点对准于悬臂43的背面的位置起移动到使照相机15的位置对准于试样S的表面的位置时的照相机15的移动距离Δz’来计算从悬臂43到试样S的表面的距离Δz。
本发明授权试样的膜厚的校正方法、试样的复折射率的计算方法在权利要求书中公布了：1.一种试样的膜厚的校正方法，在具有扫描型探针显微镜和光学显微镜的显微镜系统中，校正所述光学显微镜对试样的膜厚进行测量的测量结果，该扫描型探针显微镜具有探针单元，该探针单元具有对试样的表面进行扫描的悬臂，该光学显微镜具有光学式的物镜，其中， 通过所述扫描型探针显微镜和所述光学显微镜测量试样的膜厚， 取得所述扫描型探针显微镜的膜厚的测量结果与所述光学显微镜的膜厚的测量结果之间的相关关系， 使用所述相关关系对所述光学显微镜的膜厚的测量结果进行校正。
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