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龙图腾网获悉昆山中辰矽晶有限公司申请的专利晶圆横向撞击测试装置及晶圆强度测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113970496B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011409214.6，技术领域涉及：G01N3/34；该发明授权晶圆横向撞击测试装置及晶圆强度测试方法是由谢伟杰;陈瑞斌设计研发完成，并于2020-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆横向撞击测试装置及晶圆强度测试方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种晶圆横向撞击测试装置及晶圆强度测试方法。晶圆横向撞击测试装置包括一承载座以及一撞击器。晶圆强度测试方法包括一第一准备步骤以及一第一撞击步骤。第一准备步骤将一待测晶圆平躺地设置于承载座上，并使待测晶圆的一预击边缘区对应于承载座的一撞击口。第一撞击步骤以撞击器沿着垂直待测晶圆法向量的一预定平面穿过撞击口、并撞击在待测晶圆的预击边缘区，以使待测晶圆沿一晶向而碎裂成两个半晶圆。每个半晶圆包含有平行晶向的一碎裂边缘。本发明的其中一有益效果在于，晶圆横向撞击测试装置及晶圆强度测试方法能以撞击器沿着待测晶圆所处的预定平面而撞击在预击边缘区，据以测试待测晶圆沿晶向而碎裂所需的测试强度。

本发明授权晶圆横向撞击测试装置及晶圆强度测试方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆横向撞击测试装置，其特征在于，所述晶圆横向撞击测试装置包括： 一承载座，具有位在一预定平面上的一撞击口；其中，所述承载座用以供一待测晶圆平躺设置而落在所述预定平面上，并且所述待测晶圆定义有穿过其中心的一晶向； 一晶向传感器，安装于所述承载座； 一支撑架，可活动地安装于所述承载座；以及 一撞击器，其对应于所述撞击口设置，并且所述撞击器能沿着所述预定平面运作；其中，所述撞击器的撞击方向与所述晶向呈平行； 其中，当所述待测晶圆平躺地设置于所述承载座时，所述晶向传感器与所述撞击口分别位于所述承载座的相反两侧，所述晶向传感器能沿所述预定平面测得所述待测晶圆的所述晶向，所述撞击器能沿所述预定平面穿过所述撞击口、并沿所述晶向撞击在所述待测晶圆的一预击边缘区，以使所述待测晶圆沿所述晶向而碎裂成两个半晶圆；其中，所述预击边缘区为位于所述撞击口的所述待测晶圆的边缘部分；其中，所述支撑架能用来顶抵与定位任一个所述半晶圆的一碎裂边缘； 所述晶圆横向撞击测试装置进一步包括有连接于所述撞击器的一力道控制器，并且所述力道控制器能用来控制所述撞击器运作时所释放的力量。

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