杭州电子科技大学陈飞获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州电子科技大学申请的专利一种二维硫化铼-硫化钼垂直异质结构的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114420567B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111638376.1,技术领域涉及:H01L21/365;该发明授权一种二维硫化铼-硫化钼垂直异质结构的制备方法是由陈飞;吕秋燃;夏媛;苏伟涛设计研发完成,并于2021-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种二维硫化铼-硫化钼垂直异质结构的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种二维硫化铼‑硫化钼垂直异质结构的制备方法,采用化学气相沉积法,以SiSiO2为衬底,金属铼箔Re为铼源,金属钼箔Mo为钼源,金属铼箔平铺在金属钼箔的一端表面上,衬底倒扣在金属钼箔上,与硫蒸气反应,在衬底上制备得到了以多层ReS2为底层、双层MoS2为顶层的二维ReS2MoS2垂直异质结构。所得二维ReS2MoS2垂直异质结材料,是由两种不同尺寸的晶体堆叠而成的晶体,呈现出显著的发光性质,可作为晶体管的沟道材料应用于超薄电子器件领域,在高效光探测器领域中有潜在的应用。
本发明授权一种二维硫化铼-硫化钼垂直异质结构的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种二维硫化铼-硫化钼垂直异质结构的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、以SiSiO2为衬底,金属铼箔为铼源,金属钼箔为钼源,硫粉为硫源; S2、双温区水平管式炉按照气流方向依次设定为硫源温区和沉积温区,将两个石英舟置于同一石英管内,石英管置于管式炉内,其中一个石英舟放置硫源,位于硫源温区,另一个放置铼源、钼源、生长衬底,将氧化后的金属铼箔平铺在氧化后的金属钼箔一端表面上,该端靠近硫源温区,将衬底倒扣在金属钼箔正上方,衬底靠近硫源的一端用石英柱支撑,另一端与金属钼箔接触,该石英舟位于沉积温区; S3、先对石英管抽真空,再向石英管中通入惰性气体,对硫源温区和沉积温区升温,硫源温区的目标温度为230℃,沉积温区的目标温度825℃,两个温区同时升至设定目标温度值; S4、硫蒸气被惰性气体输送到沉积温区与铼、钼反应,反应时间为15分钟,在衬底上得到二维硫化铼-硫化钼垂直异质结构,反应结束后在惰性气体保护下冷却至室温,二维硫化铼-硫化钼垂直异质结构底部为多层硫化铼,中间顶部为双层的硫化钼。
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